依托集成電路制造封測真實(shí)產(chǎn)線,結(jié)合制造封測技術(shù),應(yīng)用情景教學(xué)、實(shí)訓(xùn)、實(shí)操等方法,將集成電路產(chǎn)業(yè)設(shè)備和產(chǎn)線引入創(chuàng)新中心,讓學(xué)生系統(tǒng)學(xué)習(xí)集成電路制造和封測產(chǎn)業(yè)鏈。集成電路制造封測工藝實(shí)驗(yàn)室方案是操作工廠生產(chǎn)線設(shè)備和材料,對集成電路產(chǎn)業(yè)鏈從擴(kuò)散、薄膜沉積、涂膠、光刻、刻蝕、清洗、測試等環(huán)節(jié),與真實(shí)生產(chǎn)相符的操作和工藝環(huán)境下的實(shí)訓(xùn)教學(xué);采用互動式學(xué)習(xí)教學(xué),理論與實(shí)際相結(jié)合。
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